目前最为成熟的多晶硅提纯工艺是西门子法,它又称()。

目前最为成熟的多晶硅提纯工艺是西门子法,它又称()。

A.四氯化硅锌还原法

B.三氯氢硅氢还原法

C.硅烷热分解法

D.四氯化硅氢还原法

正确答案:A

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