电子束特别适合于加工半导体材料，其主要原因是电子束加工（）。

电子束特别适合于加工半导体材料，其主要原因是电子束加工（）。

加工效率高

工件变形小

在真空条件下进行

可控性好

正确答案：在真空条件下进行

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