平坦化时，先填充一层牺牲材料，再进行高处刻蚀的方法是：

平坦化时，先填充一层牺牲材料，再进行高处刻蚀的方法是：

A.反刻

B.高温回流

C.旋涂玻璃法

D.CMP

正确答案：A

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